下载振动器件、电子设备以及移动体的技术资料

文档序号:26177510

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本发明涉及振动器件、电子设备以及移动体。振动器件具有:基座基板,其由硅构成,具有第1面以及与所述第1面相反的一侧的第2面;盖体,其与所述基座基板接合;振动元件,其配置于所述基座基板的所述第1面,并被收纳于所述基座基板与所述盖体之间;以及热敏...
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