下载半导体结构的形成方法以及阻变式存储器的技术资料

文档序号:26176313

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本发明提供一种半导体结构的形成方法以及阻变式存储器,所述形成方法包括:提供基底;在所述基底上形成电极层;在所述电极层上形成盖帽层;刻蚀所述盖帽层,形成第一电极;形成所述第一电极后,对所述电极层进行周期性刻蚀工艺,形成第二电极;所述周期性刻蚀...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。

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