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存储位元的制备方法及MRAM的制备方法技术
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文档序号:26176310
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本发明提供了一种存储位元的制备方法及MRAM的制备方法。该制备方法包括形成磁隧道结的步骤,在形成磁隧道结的步骤之后,制备方法还包括以下步骤:对磁隧道结的侧壁进行气体钝化处理,以减少侧壁表面的悬挂键。本发明通过上述气体钝化处理,不仅能够减少侧...
该专利属于浙江驰拓科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江驰拓科技有限公司授权不得商用。
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