下载存储位元的制备方法及MRAM的制备方法的技术资料

文档序号:26176310

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本发明提供了一种存储位元的制备方法及MRAM的制备方法。该制备方法包括形成磁隧道结的步骤,在形成磁隧道结的步骤之后,制备方法还包括以下步骤:对磁隧道结的侧壁进行气体钝化处理,以减少侧壁表面的悬挂键。本发明通过上述气体钝化处理,不仅能够减少侧...
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