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生产带金属光学分离栅的光电发射和/或接收装置的方法制造方法及图纸
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文档序号:26176234
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本发明涉及用于生产带有金属光学分离栅(140)的光电发射和/或光电接收装置(100)的方法,该方法至少包括:生产至少一个光电发射和/或光电接收部件(102),其中,该光电发射和/或光电接收部件的至少一个第一金属电极(110)覆盖光电发射和/...
该专利属于原子能和替代能源委员会所有,仅供学习研究参考,未经过原子能和替代能源委员会授权不得商用。
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