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本发明提供一种氧化镓日盲光电探测器及其制备方法，包括：衬底(001)；氧化镓吸光层(002)，为3D S形循环结构；3D叉指电极(003)，设于氧化镓吸光层(002)的3D S形循环结构的两侧壁，形成一对相互交叉的叉指结构的电极；3D叉指电...
该专利属于中国科学技术大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学技术大学授权不得商用。

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