下载一种具有埋层结构的新型低阈值JLFET器件及其制备方法的技术资料

文档序号:26176218

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本发明公开了一种具有埋层结构的新型低阈值JLFET器件及其制备方法,JLFET器件包括:衬底;衬底表面设有源区、漏区以及沟道区;其中,源区和漏区分别位于沟道区的两端;沟道区下方设置有埋层,埋层起始于沟道区与源区的交界处,且埋层的长度小于沟道...
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