下载有源矩阵基板及其制造方法的技术资料

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一种有源矩阵基板及其制造方法,有源矩阵基板在基板上具备薄膜晶体管。薄膜晶体管在基板上具备:栅极电极;第1无机绝缘膜,其覆盖栅极电极;第2无机绝缘膜,其设置在第1无机绝缘膜上,在俯视时与栅极电极重叠的区域具有开口;源极电极和漏极电极,其与栅极...
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