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用于形成集成电路的方法技术
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下载用于形成集成电路的方法的技术资料
文档序号:26176064
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本申请涉及一种用于形成集成电路的方法,所述方法包括形成衬底,所述衬底包括导线结构,所述导线结构包括相对的纵向侧,所述相对的纵向侧分别地包括横向地在绝缘体材料之间的牺牲材料。所述牺牲材料包括金属氧化物。所述牺牲材料中的至少一些被移除以形成在所...
该专利属于美光科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过美光科技公司授权不得商用。
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