下载触发电压可调双向ESD保护器件、结构及制备方法的技术资料

文档序号:26176055

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本发明提供一种触发电压可调双向ESD保护器件、结构及制备方法,包括:位于衬底上的深N阱;相邻设置于深N阱内的N阱及P阱;以及,第一P+注入区及第二P+注入区,第一P+注入区设置于N阱内,第二P+注入区设置于N阱及P阱内,第一P+注入区与第二...
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