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本发明公开了一种低噪声双面集成可注入生物光电极微探针及制备方法，微探针包括透明衬底、透明衬底正面的发光结构、透明衬底背面的记录电极结构和电磁屏蔽结构，所述记录电极结构与电磁屏蔽结构之间设有第一绝缘隔离层，所述记录电极结构包括记录电极、记录电...
该专利属于中山大学所有，仅供学习研究参考，未经过中山大学授权不得商用。

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