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本发明公开了一种器件封装结构及制备方法,包括芯片,芯材基体,正面重布线层,背面重布线层,垂直互连结构,模塑材料结构和设置在正面重布线层上的焊球;芯片包括芯片有源面和芯片晶背,芯片有源面一侧设置有芯片焊盘,正面重布线层设置在芯片有源面一侧,背...该专利属于泓林微电子(昆山)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过泓林微电子(昆山)有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种器件封装结构及制备方法,包括芯片,芯材基体,正面重布线层,背面重布线层,垂直互连结构,模塑材料结构和设置在正面重布线层上的焊球;芯片包括芯片有源面和芯片晶背,芯片有源面一侧设置有芯片焊盘,正面重布线层设置在芯片有源面一侧,背...