下载半导体存储器件的制作方法的技术资料

文档序号:26175978

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本发明公开了一种半导体存储器件的制作方法,包括进行一第一掺杂工艺在半导体基板中形成阱区、在所述半导体基板中形成字线、在所述半导体基板上形成位线接触孔露出第一有源区、对所述位线接触孔露出的所述第一有源区进行掺杂工艺、在所述半导体基板上形成位线...
该专利属于福建省晋华集成电路有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过福建省晋华集成电路有限公司授权不得商用。

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