温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种半导体加工设备的托盘及半导体加工设备，其中，半导体加工设备的托盘包括托盘本体和支撑部件，托盘本体上设置有用于容纳晶片的容纳槽，容纳槽包括位于容纳槽底面上的一凸部，凸部的上表面为圆弧面，圆弧面上的点与容纳槽底面之间的距离，自圆弧...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。