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本发明提供一种静电卡盘装置及干法刻蚀机台，所述静电卡盘装置包括静电卡盘及边缘环组件，所述边缘环组件包括第一边缘环和第二边缘环，所述第一边缘环围绕所述静电卡盘装置的轴线设置于所述静电卡盘的外周，所述第一边缘环具有围绕所述自身轴线周向分布的第一...
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