下载机械手臂和半导体处理设备的技术资料

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一种机械手臂和半导体处理设备,机械手臂包括第一手臂、第二手臂以及固定块,所述固定块中且贯穿所述固定块的部分所述底部表面的第一凹槽,所述第一凹槽的两侧侧壁具有若干螺丝安装孔;位于所述固定块中且分别贯穿所述固定块的两相对的侧面的部分表面的第二凹...
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