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本发明涉及全自动目检机的晶圆检测系统，其包括晶圆载架、在线目检机构，晶圆载架包括架座、架环、支撑部件、夹持部件，其中在夹持部件的端面上形成有与晶圆边缘匹配的卡槽，卡槽和晶圆的周边点或线接触；晶圆检测系统还包括用于驱动架环自由转动的第一翻转机...
该专利属于苏州新尚思自动化设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州新尚思自动化设备有限公司授权不得商用。

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