温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种COB固晶平衡方法、系统及COB固晶机，在COB固晶平衡方法中，控制固晶头将多个晶圆盘中的晶圆进行提取，然后控制固晶头将提取的晶圆在基板上进行固晶，在固晶时，确保每一个固晶点周围固定不同电参数的晶圆。本发明的有益效果是：本发...
该专利属于深圳市踏路科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市踏路科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。