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本发明提供一种开盖机构及半导体加工设备，该开盖机构包括：导向件，竖直设置在上电极机构的一侧，且与腔室固定连接；第一定位结构，用于限制所述导向件与所述腔室的相对位置和旋转自由度；滑动件，与所述导向件滑动配合，且与所述上电极机构固定连接；第二定...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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