下载一种弹坑超敏感产品生产参数优化方法的技术资料

文档序号:26175903

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本发明公开了一种弹坑超敏感产品生产参数优化方法,该方法通过将产品生产过程中的各个参数加大,进行弹坑的验证,当在该工艺参数生产下的芯片不会产生弹坑时,认定该参数为生产芯片的工艺参数,同时对生产机器进行验证。通过本发明的方法设计产品的生产过程各...
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