下载一种二维材料半导体薄膜的大规模制备及图案化方法及二维材料半导体薄膜的技术资料

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本发明属二维半导体薄膜制备技术领域,具体涉及一种二维材料半导体薄膜的大规模制备及图案化方法,包括如下步骤:基板预处理;在预处理后的基板上用负胶光刻目标图案;在带有光刻胶图案的基板上用溶液自组装技术制备二维半导体薄膜:基板首先浸泡在聚二烯丙基...
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