下载一种制备电极孔的方法及计算机可读存储介质的技术资料

文档序号:26175861

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本发明公开了一种制备电极孔方法及计算机可读存储介质,本发明通过在电极孔刻蚀后露出新鲜的半导体材料表面制备一层金属层,通过该金属层使得半导体材料表面不被空气、光刻胶沾污,同时也避免引入过多附加能级。也就是说,本发明通过金属打底层的制备,固化半...
该专利属于中国电子科技集团公司第十一研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第十一研究所授权不得商用。

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