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一种PN结硅微球的制备方法技术
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下载一种PN结硅微球的制备方法的技术资料
文档序号:26175855
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本发明公开了一种PN结硅微球的制备方法,该方法选用一定尺寸的N型硅微球为原料,先用氢氟酸浸泡后,除去表面的氧化层,然后再用去离子水和无水乙醇清洗后进行真空干燥。选取包含硼元素的溶液作为扩散源,按照一定的体积比浸润干燥后的硅微球,然后真空干燥...
该专利属于盐城工学院所有,仅供学习研究参考,未经过盐城工学院授权不得商用。
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