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公开了一种膜去除方法、基板处理方法和基板处理装置。其中，所述膜去除方法为通过将多个单位脉冲激光束照射到基板的边缘区域以从基板去除膜的方法。该方法包括：第一照射操作，其用于在基板旋转情况下，将多个单位脉冲激光束照射到基板上；以及第二照射操作，...
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