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本发明公开了一种多层结构的复合柔性导电薄膜，其组成为氧化铈与氮化钛作为上下两层，陶瓷增强金属基复合导电材料作为中间夹层以及透明有机柔性衬底，采用磁控溅射工艺，依次溅射各薄膜层，制备得到多层结构的复合柔性导电薄膜。其中陶瓷增强金属基复合导电材...
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