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学习方法、管理装置和记录介质制造方法及图纸
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文档序号:26173110
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本发明提供一种能够高精度且高效地生成回归方程的学习方法、管理装置和管理程序。学习方法对等离子体处理装置的腔室内的发光数据进行预处理。学习方法设定用于生成回归方程的机器学习的约束,回归方程表示等离子体处理装置的蚀刻速率与发光数据之间的关系。学...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。
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