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一种基于卷积分类网络的晶圆图失效模式相似检索的方法技术
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文档序号:26171241
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本发明公开了一种基于卷积分类网络的晶圆图失效模式相似检索的方法,涉及半导体制造业技术领域。本发明针对晶圆失效模式的图像特征,构建了一种兼顾语义特征及局部细节特征的卷积分类网络,通过分类伪任务来提取图像特征,由于图像特征是高维的向量,采用传统...
该专利属于上海喆塔信息科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海喆塔信息科技有限公司授权不得商用。
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