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本发明公开了一种基于卷积分类网络的晶圆图失效模式相似检索的方法,涉及半导体制造业技术领域。本发明针对晶圆失效模式的图像特征,构建了一种兼顾语义特征及局部细节特征的卷积分类网络,通过分类伪任务来提取图像特征,由于图像特征是高维的向量,采用传统...
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