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本发明公开了一种四象限传感器的标定方法、掩模传输分系统和光刻设备。其中，四象限传感器的标定方法包括：将待测工件装载上运动单元至对准位；微动运动单元至第一四象限传感器给出的第一方向坐标值、第二方向坐标值以及第二四象限传感器给出的第二方向坐标值...
该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。

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