下载一种聚焦光学系统及极紫外光产生系统的技术资料

文档序号:26169141

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本发明公开了一种聚焦光学系统,第一激光源用于产生第一激光束,第二激光源用于产生第二激光束,第一光束变换装置用于将第一激光束变换为第一环形光束,并将形成的第一环形光束入射到合束装置,合束装置用于将第一环形光束引导传播到聚焦装置,将第二激光束引...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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