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本发明公开了一种波像差测量装置及光刻机。所述波像差测量装置包括：照明系统，以及物面光栅板、投影物镜、像面光栅板和光电探测器；物面光栅板和像面光栅板均为透明光栅板；物面光栅板包括物面光栅，物面光栅由多个间隔均匀的凸起部或凹陷部排列组成，凸起部...
该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。

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