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本发明涉及一种感光树脂组合物、制备方法、干膜抗蚀剂及相应的元件,属于电路印刷元件的制备技术领域。感光树脂组合物,包含50~70%的碱溶性树脂,碱可溶性树脂分子的侧链具有芳香族基团或脂环碳氢结构、30~50%的光自由基聚合单体、0.1~5%的...该专利属于浙江福斯特新材料研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江福斯特新材料研究院有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种感光树脂组合物、制备方法、干膜抗蚀剂及相应的元件,属于电路印刷元件的制备技术领域。感光树脂组合物,包含50~70%的碱溶性树脂,碱可溶性树脂分子的侧链具有芳香族基团或脂环碳氢结构、30~50%的光自由基聚合单体、0.1~5%的...