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硅上液晶装置镜金属工艺制造方法及图纸
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文档序号:26169059
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本申请案涉及一种硅上液晶装置镜金属工艺。反射型半导体装置包含安置在半导体层中的集成电路。第一多个镜形成在所述半导体层上方的镜层中,并且所述第一多个镜中的每一者彼此间隔开至少均匀宽度。薄电介质膜层覆盖所述第一多个镜的侧壁及在经间隔开的第一多个...
该专利属于豪威科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过豪威科技股份有限公司授权不得商用。
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