下载一种用于氧传感器芯片的绝缘层及其制备方法的技术资料

文档序号:26167998

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本发明公开了一种用于氧传感器芯片的绝缘层及其制备方法,包括包括加热电极,所述加热电极与引脚相连接,且加热电极外部设置有流延绝缘片,所述流延绝缘片外部设置有流延基片,加热电极上下均设有流延绝缘片和流延基片,氧化铝粉和溶剂粒度小于1um,该用于...
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