下载工件侧周成像系统的技术资料

文档序号:26167946

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本公开提供了一种工件侧周成像系统,包括:超远心镜头;锥形杯,包括:可反射光线的内壁及第一开口,所述第一开口朝向所述超远心镜头;以及发光体,设置于所述锥形杯内部。...
该专利属于北京领邦智能装备股份公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京领邦智能装备股份公司授权不得商用。

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