工件侧周成像系统技术方案

本公开提供了一种工件侧周成像系统，包括：超远心镜头；锥形杯，包括：可反射光线的内壁及第一开口，所述第一开口朝向所述超远心镜头；以及发光体，设置于所述锥形杯内部。

Imaging system of workpiece side circumference

【技术实现步骤摘要】
工件侧周成像系统
本公开涉及工件缺陷检测
，尤其涉及一种工件侧周成像系统。
技术介绍
目前，在对圆柱面(例如圆片形状工件的侧周)进行缺陷检测时，通常需要采用多个相机分别对工件的侧周进行成像，该方式导致系统过于复杂且成本高。或者，使用超远心镜头，并通过平面板光源或普通环形光源进行打光的方式对工件侧周进行成像，但该方式对于工件侧周表面较小的缺陷无法清晰成像，导致较高的漏检概率。需要说明的是，在上述
技术介绍
部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
本公开的目的在于提供一种工件侧面成像系统。本公开的其他特性和优点将通过下面的详细描述变得显然，或部分地通过本公开的实践而习得。根据本公开的一个方面，提供一种工件侧周成像系统，包括：超远心镜头；锥形杯，包括：可反射光线的内壁及第一开口，所述第一开口朝向所述超远心镜头；以及发光体，设置于所述锥形杯内部。根据本公开的一实施方式，所述超远心镜头的光轴与所述锥形杯的中轴线在同一直线本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种工件侧周成像系统，其特征在于，包括：/n超远心镜头；/n锥形杯，包括：可反射光线的内壁及第一开口，所述第一开口朝向所述超远心镜头；以及/n发光体，设置于所述锥形杯内部。/n

【技术特征摘要】
1.一种工件侧周成像系统，其特征在于，包括：
超远心镜头；
锥形杯，包括：可反射光线的内壁及第一开口，所述第一开口朝向所述超远心镜头；以及
发光体，设置于所述锥形杯内部。


2.根据权利要求1所述的工件侧周成像系统，其特征在于，所述超远心镜头的光轴与所述锥形杯的中轴线在同一直线上；或者，所述超远心镜头的光轴与所述锥形杯的中轴线形成的夹角小于或等于10度，所述锥形杯形成的锥尖点距离所述超远心镜头的光轴小于或等于10毫米。


3.根据权利要求2所述的工件侧周成像系统，其特征在于，所述发光体的中心相对所述锥形杯形成环形虚像，所述环形虚像中心位于所述超远心镜头的入瞳中心。


4.根据权利要求1-3任一项所述的工件侧周成像系统，其特征在于，所述发光体包括两个发光区或三个发光区，分别发射红色、绿色或蓝色光线。


5.根据权利要求1-3任一项所述的工件侧周成像系统，其特征在于，所述发光体包括下述发光体中的一种：球形发光体、柱形发光体或平面发光体。


6.根据权利要求5所...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔忠伟，陈鸣，崔凯翔，
申请(专利权)人：北京领邦智能装备股份公司，
类型：发明
国别省市：北京;11