温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种晶圆缺陷检测装置及方法，所述检测装置至少包含：光源；晶圆，所述晶圆包括多个第一晶粒和多个第二晶粒；分光镜，所述分光镜将所述光源发射的光线分成第一光束和第二光束；偏光镜，用于将第一光束和第二光束分别反射到第一晶粒和第二晶粒上；以...
该专利属于芯恩(青岛)集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯恩(青岛)集成电路有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。