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本发明涉及一种制备高纯钌靶EBSD样品的方法，属于EBSD试样制备技术领域。将高纯钌靶线切割成待测试样，进行机械磨抛，清洁干净后再用二氧化硅悬浮液抛光20‑30分钟，抛光速度逐渐减慢，最后用清水将试样抛光20‑30秒；用中性洗涤剂清洁试样表...
该专利属于国标(北京)检验认证有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过国标(北京)检验认证有限公司授权不得商用。

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