下载一种陶瓷传感器及其制备方法的技术资料

文档序号:26167319

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本发明公开了一种陶瓷传感器及其制备方法,所述陶瓷传感器包括形成为一体结构的陶瓷弾性薄片、陶瓷底座和导电通道,陶瓷弾性薄片和陶瓷底座之间形成有空腔,陶瓷弾性薄片的厚度小于陶瓷底座的厚度;陶瓷弾性薄片的底面上具有公共电极,陶瓷底座的顶面的中心区...
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