温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种低应力效应硅压传感器模块,包括壳体,壳体内装有传感器芯片和电路芯片,还包括金属片,金属片伸入壳体中,壳体设有贯通的空腔,空腔包括A面和B面,A面靠近气孔,电路芯片通过低膨胀系数的硅胶固定在金属片朝向B面的一侧,传感器芯片通过...该专利属于苏州感芯微系统技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州感芯微系统技术有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种低应力效应硅压传感器模块,包括壳体,壳体内装有传感器芯片和电路芯片,还包括金属片,金属片伸入壳体中,壳体设有贯通的空腔,空腔包括A面和B面,A面靠近气孔,电路芯片通过低膨胀系数的硅胶固定在金属片朝向B面的一侧,传感器芯片通过...