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本公开提供一种具有多平行环形惠斯通电桥的压力传感器及其制备方法。压力传感器包括衬底、压力敏感单元、绝缘钝化层、导线层以及刻蚀停止层，压力敏感单元包括应力敏感膜、多个压敏电阻以及多根引线，衬底沿其厚度方向的第一表面设置有空腔，第一表面上设置有...
该专利属于南京高华科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京高华科技股份有限公司授权不得商用。

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