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包括流体流动通道的流体感测设备和质量流量控制器。该流体流动通道具有限流部分、该限流部分上游的第一位置处的第一流体端口、该限流部分下游的第二位置处的第二流体端口、与该第一流体端口和第二流体端口流体连通的流体传感器以及层流元件。该层流元件包含沿...
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