流体感测设备和质量流量控制器制造技术

技术编号:26167119 阅读:117 留言:0更新日期:2020-10-31 13:19
包括流体流动通道的流体感测设备和质量流量控制器。该流体流动通道具有限流部分、该限流部分上游的第一位置处的第一流体端口、该限流部分下游的第二位置处的第二流体端口、与该第一流体端口和第二流体端口流体连通的流体传感器以及层流元件。该层流元件包含沿着该流体流动通道至少从该第一位置延伸到该第二位置的流稳定杆,以在该流体流动通道的外壁与该流稳定杆的外表面之间限定该流体流动通道的流体感测部分。该限流部分包括减小该流体流动通道的该流体感测部分的液压直径,这通过减小该流体流动通道的直径或增大该流稳定杆的直径或既减小该流体流动通道的直径又增大该流稳定杆的直径来实现。还提供包含此类流体感测设备的质量流量控制器。

【技术实现步骤摘要】
流体感测设备和质量流量控制器
本专利技术涉及一种流体感测设备,具体地说,涉及一种例如在质量流量控制器中或质量流量计中与流体控制阀一起使用的流体感测设备。
技术介绍
流体控制阀广泛应用于控制流体的流动。受控制的流体可包括气体、液体或其组合。在一些情况下,流体还可包含悬浮颗粒物。虽然流体控制阀在用于通过阀(通常是比例阀)打开和闭合流体连通路径的特定配置方面有很大不同,但一种特定类型的阀致动是使用螺线管来执行。在螺线管致动阀中,电流穿过电磁线圈,其中线圈通常围绕磁芯形成。线圈一般包括围绕线轴缠绕许多次从而形成多个所谓的匝的线材。通电的螺线管产生磁场。磁场强度与匝数以及提供到线材的电流成比例。如所属领域中众所周知,为了增大由螺线管提供的磁场,可增大匝数和/或可增大提供到线材的电流。磁场通常在连接到柱塞的可移动电枢上操作,柱塞配置成与阀座(其包围流体可从中通行的入口和/或出口)接合,从而改变由阀座以及柱塞的密封部分产生的流动限制。可使用压电致动等其它类型的致动。质量流量控制器(“MFC”)广泛用于测量和控制流体流量。典型MFC包含流体感测设备、流本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种流体感测设备,其包括:/n流体流动通道,其具有入口和出口;/n限流部分,其位于所述入口与所述出口之间;/n第一流体端口,其处于所述限流部分上游的所述流体流动通道的第一位置处;/n第二流体端口,其处于所述限流部分下游的所述流体流动通道的第二位置处;/n流体传感器,其与所述第一流体端口和第二流体端口流体连通;以及/n层流元件,其包括沿着所述流体流动通道至少从所述第一位置延伸到所述第二位置的流稳定杆,以在所述流体流动通道的外壁与所述流稳定杆的外表面之间和所述第一位置和第二位置之间限定所述流体流动通道的流体感测部分,/n其中所述限流部分包括减小所述流体流动通道的所述流体感测部分的液压直径,这通...

【技术特征摘要】
20190430 EP 19172052.31.一种流体感测设备,其包括:
流体流动通道,其具有入口和出口;
限流部分,其位于所述入口与所述出口之间;
第一流体端口,其处于所述限流部分上游的所述流体流动通道的第一位置处;
第二流体端口,其处于所述限流部分下游的所述流体流动通道的第二位置处;
流体传感器,其与所述第一流体端口和第二流体端口流体连通;以及
层流元件,其包括沿着所述流体流动通道至少从所述第一位置延伸到所述第二位置的流稳定杆,以在所述流体流动通道的外壁与所述流稳定杆的外表面之间和所述第一位置和第二位置之间限定所述流体流动通道的流体感测部分,
其中所述限流部分包括减小所述流体流动通道的所述流体感测部分的液压直径,这通过减小所述流体流动通道的横截面积和/或通过增大所述流稳定杆的横截面积来实现,且其中所述流稳定杆的所述外表面基本上是连续的。


2.根据权利要求1所述的流体感测设备,其中所述流体流动通道的横截面是圆形,且其中所述限流部分包括减小所述流体流动通道的所述外壁的直径。


3.根据权利要求1或权利要求2所述的流体感测设备,其中由所述流稳定杆的所述外表面限定的横截面积沿着所述流体感测部分的基本上整个长度基本恒定。


4.根据权利要求1所述的流体感测设备,其中所述限流部分包括增大由所述流稳定杆的所述外表面限定的横截面积。


5.根据任一前述权利要求所述的流体感测设备,其中所述流稳定杆包括一个或多个内部流道,所述一个或多个内部流道限定与所述流体感测部分隔开的所述流体流动通道的额外流动部分。


6.根据任一前述权利要求所述的流体感测设备,其中所述流稳定杆沿着所述流体流动通道从所述第一位置上游的位置延伸到邻近所述第二位置的位置,或从邻近所述第一位置的位置延伸到所述第二位置下游的位置,或从所述第一位置上游的位置延伸到所述第二位置下游的位置。


7.根据任一前述权利要求所述的流体感测设备,其中所述层流元件还包括支撑件,稳定杆通过所述支撑件安装于所述流体流动通道中。


8.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员:V·塔纳里D·阿祖尼M·迪亚兹J·迪迪奥
申请(专利权)人:FAS医学有限公司
类型:发明
国别省市:瑞士;CH

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1