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本发明涉及光学位移计。目的是在抑制U方向上的测量精度的下降的同时加速V方向上的读取。提供用于基于三角测量原理来测量沿Y方向输送的测量对象的X‑Z截面的轮廓的光切法的光学位移计。光源利用在X方向上具有宽度的狭缝光照射测量对象。图像传感器接收来...
该专利属于株式会社基恩士所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社基恩士授权不得商用。

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