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本发明属于精密机械误差测量领域，公开了一种导轨五自由度运动误差在线测量装置及方法。该装置由嵌入运动平台上的五个按一定规则排列的电涡流位移传感器组成，电涡流传感器测量导轨不同位置在运动过程中相对基准直线的位移变化。本发明通过采用一般精度的平面...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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