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本发明公开了一种适于化学汽相沉积装置扩散器的吹扫设备，包括相对布置的两个吹扫机器人，吹扫机器人包括用于对扩散器进行吹扫的喷嘴和用于控制喷嘴进行移动的位置调节装置。本发明适于化学汽相沉积装置扩散器的吹扫设备，可以提高扩散器的吹扫工作效率，并可...
该专利属于芜湖通潮精密机械股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芜湖通潮精密机械股份有限公司授权不得商用。

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