下载一种N型单晶生长用半导体石墨热场的技术资料

文档序号:26162927

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本发明公开了一种N型单晶生长用半导体石墨热场,包括石墨热场罐体和控制面板,所述石墨热场罐体内侧壁以及内侧的顶端和底端均设置有保温层,所述石墨热场罐体顶部一侧的中间位置处设置有进料仓,所述进料仓的一端延伸至石墨热场罐体的内部,所述进料仓内部的...
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