下载一种硫酸双氧水体系的蚀铜加速剂及蚀刻药水的技术资料

文档序号:26162812

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本发明提供一种硫酸双氧水体系的蚀铜加速剂,由肽、醇和羧酸按照肽:醇:羧酸=10‑2500:1‑500:1‑2000的重量比比例组成。肽和铜离子形成络合物,有效降低硫酸双氧水体系中催化双氧水分解的铜离子浓度;肽中极性基团还与双氧水形成氢键,避...
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