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本发明公开了一种用于制作固态薄膜电池的RF和PVD系统，包括位于手套箱中的真空腔室，真空腔室内装有用于夹装片状基片的样品台，样品台台面朝下布置，样品台下方分别设置有用于向基片表面溅射镀膜形成正极的溅射机构，和用于向基片表面蒸发镀膜形成负极的...
该专利属于合肥科晶材料技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥科晶材料技术有限公司授权不得商用。

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