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本发明公开了一种点蒸发源及蒸镀设备,点蒸发源包括用于容纳蒸发材料的坩埚本体和端盖,所述坩埚本体的顶端具有开口,所述端盖盖合在所述坩埚本体的开口处,所述端盖上设置有多个蒸发口部,所述多个蒸发口部排成一列,整列蒸发口部位于同一平面内。本发明通过...该专利属于北京铂阳顶荣光伏科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京铂阳顶荣光伏科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种点蒸发源及蒸镀设备,点蒸发源包括用于容纳蒸发材料的坩埚本体和端盖,所述坩埚本体的顶端具有开口,所述端盖盖合在所述坩埚本体的开口处,所述端盖上设置有多个蒸发口部,所述多个蒸发口部排成一列,整列蒸发口部位于同一平面内。本发明通过...