下载点蒸发源及蒸镀设备的技术资料

文档序号:26162729

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本发明公开了一种点蒸发源及蒸镀设备,点蒸发源包括用于容纳蒸发材料的坩埚本体和端盖,所述坩埚本体的顶端具有开口,所述端盖盖合在所述坩埚本体的开口处,所述端盖上设置有多个蒸发口部,所述多个蒸发口部排成一列,整列蒸发口部位于同一平面内。本发明通过...
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