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本申请实施例提供一种气相沉积装置、方法及显示装置，气相沉积装置包括基板，所述基板中设置有绝缘隔离板，所述绝缘隔离板将所述基板分割为至少两个沉积区域，各个所述沉积区域的基板独立的连接射频电源，各个所述射频电源可分别调节电流大小。本申请通过调节...
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