下载掩膜版和蒸镀装置的技术资料

文档序号:26162717

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本发明实施例提供一种掩膜版和蒸镀装置。本申请实施例提供的掩膜版,掩膜版本体,包括图案蒸镀区,所述图案蒸镀区内设置有多个蒸镀开口;抗拉膨胀部,在所述图案蒸镀区周侧分布,在垂直于拉应力方向上所述抗拉膨胀部的形变方向与所述掩膜版本体的形变方向相反...
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